1、真空泵的工作壓強應該滿(mǎn)足真空設備的極限真空及工作壓強要求?！ ∪纾赫婵斟兡ひ?×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個(gè)到一個(gè)數量級。
2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)?！ ∶糠N泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應該選在這個(gè)范圍之內，而不能讓它在10-8mmHg下長(cháng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。
3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4、正確地組合真空泵?！ ∮捎谡婵毡糜羞x擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱(chēng)陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì )使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。
5、真空設備對油污染的要求?！ ∪粼O備嚴格要求無(wú)油時(shí)，應該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
6、了解被抽氣體成分?！ 怏w中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對環(huán)境的影響?！ ∪绻h(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響?！ ∪艄に囘^(guò)程不允許，應選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
9、真空泵的價(jià)格、運轉及維修費用。在使用許可的情況之下,應盡量選用價(jià)廉物美的真空泵。
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